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国内目前高压气淬的工件变形一般都比较大，其原因是：国内典型真空高压气淬炉炉膛形状是圆形炉膛，炉膛四周均匀布置淬火冷却喷嘴希望获得均匀的气流场。实际上，这个结构的炉内冷却的气流均匀性很差，前后炉膛的端面附近气流速度很低，冷却能力差，靠近炉门处的一端比另一端的冷却速度快些。在装料的有效尺寸区间内，冷却气流速度也较低，在圆柱面上正对喷嘴处的气体流速较高，而两个相邻喷嘴之间的冷却能力很低，工件正对喷嘴的喷射冷却痕迹明显。同炉中的工件在不同的位子上的冷却差异十分大。这种情况导致工件的淬火变形很大，工件的抗回火能力不一致。
预抽真空回火炉是一种保护气氛热处理炉。真空回火炉对炉内的氧化气氛排除的方法有充气法和换气法。充气法是对炉膛连续充、放气，赶出炉内的氧化杂质气体，使炉内的气氛纯度达到要求。换气法是利用机械泵对炉内的氧化气体抽出，再充入保护气体，然后再抽出不纯气体，充入保护气，这样反复进行几次直到炉内气体纯度合格。高合金钢真空回火的真空度选用133MPa对应炉内的残氧量为0.132%。
安装质量不好将会使压升率达不到技术要求，长期使用之后，真空炉的压升率也会增大。当真空度压升率恶化到一定程度后，处理零件的表面质量下降，加热元件的使用寿命会明显降低，这是需要对炉子检漏，并排除漏气原因。检漏及排除漏气因素的目的就是使漏气率达到技术条件要求。1） 由于存在漏孔产生的漏气； 2） 由渗透产生的漏气；渗透式指气体不是通过固体中的漏孔方式漏气的现象，而是气体吸附在固体的高压一侧表面上，然后沿浓度梯度向固体低压的一侧扩散。在真空炉中的金属、玻璃、橡皮、陶瓷等材料，都是可以渗透气体的。
检测真空系统的压升率可以使用压强----时间关系曲线来寻找。
从曲线中可见，在抽气过程中，开始真空炉的压力降低很快，之后达到稳定，关闭真空阀门之后，炉内的压力值变化可以用曲线表示。
真空双室油淬炉中使用的热电偶由于长期正负压的交替作用，其外壳金属管会释放氧化粉尘，被热电偶内的磁管微孔吸收，白色的磁管变成黄色或黑色，造成真空炉中热电偶瓷管会产生导电现象，在做热电偶的维修时，应该经常检查磁管的色泽和使用万用表检测磁管导电性，发生这种现象应该更换热处理磁管。
真空回火炉
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